FSM提供多種類的薄膜覆層服務。 從單層膜到復雜的多層膜, 我們有豐富的經驗。 我們的覆層服務包括熱氧化, LPCVD, PECVD, PVD, 電鍍, 蒸鍍, 以及符合您需要的特殊薄膜處理。
下列為FSM最常見的鍍膜：
熱氧化
CVD氧化
低溫氧化
厚氧化膜
顆粒凈化氧化膜
PETEOS氧化膜
低顆粒Teos
碳化硅膜
BPSG, PSG, USG
多晶硅 (含雜質與不含雜質)
非晶硅
光阻: I-line, 248奈米 DUV, 193奈米厚光阻
氮氧化膜
LPCVD 氮化膜
PECVD 氮化膜
低壓氮化膜
鉆石
類鉆石碳
Metals: PVD, CVD, Electroplated, Evaporated, Al, Ta, Ti, TiN, TiW, TaN, WN, Cr, Cu, Al-Cu, Ni, Ru, SiC, SiCN, A-Si, Pd, Co, NiSi, TiO2, Pt, Ag, Au, etc. 金屬: PVD, CVD, 電鍍, 蒸鍍, Al, Ta, Tim TiN, TiW, TaN, WN, Cr, Cu, Al-Cu, Ni, Ru, SiC, SiCN, A-Si, Pd, Co, NiSi, TiO2, Pt, Ag, Au 等.
欲知更多薄膜覆層細節, 或您有特殊需求, 請聯系FSM
簡體中文
Japanese(日語)
Korean(韓文)
English(英文)