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        硅晶片
        直徑
        雙面拋光
        浮區發(FZ)晶圓片
        級別
        厚晶圓片
        薄晶圓片
        超平晶圓片
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        50毫米

        添加時間:2017-11-17 17:02 瀏覽 來源:未知

        FSM有完整的50毫米晶圓產品。 請見下表之生產級與測試級晶圓之SEMI標準規格。我們將竭誠提供符合您所有需要的晶圓片。
        如果您沒有找到您要的規格, 請與我們聯系, 并與專員討論相關細節。
        遞交晶圓需求

        直徑 50 +/- 0.5 毫米
        種類 / 摻雜物 P/Boron
        晶向 < 100 > +/- 1º
        等級 測試級
        電阻值 1 – 100 Ω-cm
        鏡像電阻梯度
        金屬 < 5 x E10
        原子/ 平方厘米
        厚度 279 +/-50微米
        厚度變化 <= 10微米
        整體平整度  
        彎曲度 <= 50微米
        平整度 1或2 SEMI標準值
        顆粒數 <= 20 @ >= 0.3微米
        拋光 單面拋光或雙面拋光
        蝕刻 單面拋光或雙面拋光
         
        *我們也提供N型晶圓片

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