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        硅晶片
        直徑
        雙面拋光
        浮區發(FZ)晶圓片
        級別
        厚晶圓片
        薄晶圓片
        超平晶圓片
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        100毫米

        添加時間:2017-11-17 17:02 瀏覽 來源:未知


         
        FSM有完整的100毫米晶圓產品。 請見下表之生產級與測試級晶圓之SEMI標準規格。我們將竭誠提供符合您所有需要的晶圓片。
        如果您沒有找到您要的規格, 請與我們聯系, 并與專員討論相關細節。

        直徑 100 +/- 0.5 毫米
        種類 / 摻雜物 P/Boron
        晶向 <100>+/- 1º
        等級 測試級
        電阻值 1 – 100 Ω-cm
        鏡像電阻梯度
        金屬 < 5 x E10 原子/ 平方厘米
        厚度 525 +/- 25微米
        厚度變化 <= 10微米
        整體平整度  
        彎曲度 <= 50微米
        局部平整度(STIR)
        平整度 2 SEMI標準值
        顆粒數 <= 50 @ >= 0.2微米
        拋光 單面拋光或雙面拋光
        蝕刻 單面拋光或雙面拋光
         
        *我們也提供N型晶圓片

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